液晶与显示
 
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不同狭缝与遮挡条设计对TFT特性的影响与规律
周伟峰1,郭建2,金基用3,明星3,陈旭2,闵泰烨2
1. 京东方科技集团股份有限公司技术研发中心
2. 北京京东方光电科技有限公司
3.
摘要: 通过对掩膜版上不同狭缝与遮挡条设计与TFT沟道形貌、电学特性相互关系的分析,发现随着狭缝与遮挡尺寸的减小TFT的电学特性、沟道处光刻胶起伏与最终关键尺寸偏移量都会变好。狭缝的尺寸比遮挡条的尺寸对TFT特性的影响更加显著。考虑到沟道转角处的短路几率问题,小的狭缝与遮挡条尺寸设计更加适合于四次淹没光刻工艺,转角处的缺陷可以通过调整遮挡条的尺寸来避免。
关键词 薄膜晶体管液晶显示器   沟道设计   四次淹没曝光  
The Effect and Regularity of Different Slit & Bar Design on TFT Characteristic
Abstract: During analyzing the relation among different slit & bar design of mask, TFT channel profile and electric characteristic, it’s found that the TFT electric characteristic, ripple size and channel FICD bias are becoming better while slit or bar size decreases. The slit size has larger influence than bar size on TFT characteristic. Considering the ratio of short in the corner of the channel, the small slit & bar design is suitable for four mask processing, and the corner defect can be avoided by tuning bar size.
Keywords: TFT-LCD   channel design   four mask  
收稿日期 2010-04-21 修回日期 2010-05-21 网络版发布日期 2010-12-27 
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通讯作者: 周伟峰
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2.周伟峰, 薛建设, 明星, 刘翔, 郭建, 谢振宇, 赵承潭, 陈旭, 闵泰烨.应用低介电材料丙烯酸酯树脂作为 TFT-LCD的钝化层材料[J]. 液晶与显示, 2011,26(1): 19-22
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