液晶与显示
 
     首 页 |  期刊介绍  |  编委会  |  投稿指南  |  期刊订阅  |  数据库收录  |  道德声明  |  联系我们  |  English
液晶与显示 2011, 26(1) 19-22  ISSN:  CN

本期目录 | 下期目录 | 过刊浏览 | 高级检索                                                            [打印本页]   [关闭]
器件制备技术及器件物理
应用低介电材料丙烯酸酯树脂作为 TFT-LCD的钝化层材料
周伟峰1, 薛建设1, 明星2, 刘翔1, 郭建2, 谢振宇2, 赵承潭2, 陈旭2, 闵泰烨2
1. 京东方科技集团 技术研发中心,北京 100176
2. 北京京东方光电科技有限公司,北京 100176
摘要: 将具有低介电常数的丙烯酸酯树脂作为薄膜晶体管液晶显示器的钝化层整合到阵列基板中。与传统的SiNx薄膜(ε≈7)相比,丙烯酸酯树脂钝化层具有平坦的表面, 其低介电常数(ε≈4.5)可以降低器件的RC延迟,这都将有利于提高薄膜晶体管液晶显示器的开口率,从而提高显示器的亮度,降低能耗和制作成本。
关键词 薄膜晶体管液晶显示器   低介电常数   丙烯酸酯树脂   钝化层  
Low Dielectric Acrylate Resin as Passivation Layer on TFT-LCD
ZHOU Wei-feng1, XUE Jian-she1, MING Xing2, LIU Xiang1, GUO Jian2, XIE Zhen-yu2, ZHAO Cheng-tan2, CHEN Xu2, MIN Tai-ye2
1. Technology Research Institute BOE Technology Group Co. Ltd., Beijing 100176, China, E-mail: zhouweifeng@boe.com.cn;
2. Beijing BOE Optoelectronics Technology Co. Ltd., Beijing 100176, China
Abstract: A low dielectric material, acrylate resin has been investigated as a passivation dielectric layer for thin-film transistor (TFT) arrays in this paper. Compared with the conventional nitride film (SiNx, ε≈7), the acrylate resin passivation layer exhibits a flat surface and a low dielectric constant (ε≈4.5) which lowers the RC delay in a device. The high transmittance and good planarization characteristics of the low dielectric acrylate resin film enhance the brightness and aperture ratio of thin film transistors liquid crystal displays (TFT-LCDs), and lower the manufacture cost.
Keywords: TFT LCD   low dielectric constant   acrylate resin   passivation layer  
收稿日期 2010-04-21 修回日期 2010-05-27 网络版发布日期 2011-02-20 
基金项目:

通讯作者:
作者简介: 周伟峰 (1980-),男,江苏江阴人,硕士,高级工程师,主要从事与液晶显示器相关的技术工作。
作者Email: zhouweifeng@boe.com.cn

参考文献:
[1] 张化福,袁玉珍,臧永丽,等. p-Si TFT栅绝缘层用SiNx薄膜界面特性的研究 [J]. 液晶与显示, 28, 23(1):35-38. [2] 李云飞,王永生,张晓龙,等. a-Si:H TFT OLED驱动电路中存储电容对显示性能的影响 [J]. 液晶与显示, 28, 23(5): 572-577. [3] Hori H, Suzuki K. Color Ekisho Display [M]. Beijing: Science Press, 23:94-141. [4] Chang Tashan, Chang Tingchang, Liu Potsun, et al. Improvement of hydrogrnated amophous-silicon TFT performances with low-k siloxane-based hydrogen silsesquioxane (HSQ) Passivation Layer [J]. IEEE Electron Device Letters, 26, 27(11): 92-94. [5] Chang Tashan, Chang Tingchang, Liu Potsun, et al. Application of the low dielectric methyl-silsesquiazane (MSZ) as a passivation layer on TFT-LCD [J]. Thin Solid Films, 26, 515(3):1117-112. [6] 何万里,曹晖,张晓光,等. 丙烯酸酯封端的取代氢键液晶的制备及性能研究 [J]. 液晶与显示, 29, 24(6):783-788. [7] 张胜茂,刘文菊,田秋峰,等. 低电压丙烯酸酯体系PDLC的研究 [J]. 液晶与显示, 29, 24(6):799-83. [8] 张树旺,王华林,苗壮,等. 柔性有机电致发光器件衬底阻透性能的测试方法 [J]. 液晶与显示, 28, 23(4):514-518. [9] 刘翔,王章涛,崔祥彦,等. 薄膜晶体管阵列四次光刻工艺中光刻胶灰化工艺的研究 [J]. 液晶与显示, 28, 23(2):183-187. [1] 董杰,金相起,朴范求,等. a-Si TFT LCD过孔尺寸的缩减 [J]. 液晶与显示, 28, 23(6):688-691.
本刊中的类似文章
1.曲连杰, 郭建, 史大为, 陈旭, 闵泰烨, 杨莉.高分辨率显示用小孔设计技术[J]. 液晶与显示, 2015,30(2): 246-250
2.李田生, 陈旭, 谢振宇, 徐少颖, 闵泰烨, 张学智.过孔刻蚀工艺优化对过孔尺寸减小的研究[J]. 液晶与显示, 2014,29(5): 674-680
3.李卿硕, 吴倩, 王莎.液晶模组ESD失效分析及防护研究[J]. 液晶与显示, 2013,28(5): 711-715
4.林鸿涛, 王明超, 姚之晓, 刘家荣, 王章涛, 邵喜斌.TFT-LCD中画面闪烁的机理研究[J]. 液晶与显示, 2013,28(4): 567-571
5.李田生, 谢振宇, 张文余, 阎长江, 徐少颖, 陈旭, 闵泰烨, 苏顺康.钝化层沉积工艺对过孔尺寸减小的研究[J]. 液晶与显示, 2012,(4): 493-498
6.曲连杰, 陈旭, 郭建, 闵泰烨, 谢振宇, 张文余.氮化硅在触摸屏中的应用分析[J]. 液晶与显示, 2012,27(2): 466-470
7.孙长辉, 李灿灿, 王情伟, 李丰果.TFT-LCD三基色光谱的温度特性[J]. 液晶与显示, 2011,26(6): 746-749
8.马舜峰, 金龙旭, 安少婷, 朴永杰, 张柯, 陶宏江.一种基于ARM9的彩色TFT-LCD模块设计及实现[J]. 液晶与显示, 2010,25(5): 718-723
9.唐惠玲;刘志军;何红宇.三阶驱动原理在TFT LCD电测波形设计中的应用[J]. 液晶与显示, 2009,24(04): 606-609

Copyright by 液晶与显示